株式会社オータマは1964年の創業より、パーマロイによる磁気シールド専門メーカーとしてご愛顧いただいております。

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特長

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磁気シールドケースの特長
某工場 電子ビーム描画装置用
磁気シールドルームの用途として、半導体製造装置の磁気シールドがあります。当社ではクリーンルーム内への磁気シールドルーム施工はもちろん、磁気シールドルームそのものに空調ユニットを設置することによりルーム内の温度・湿度・清浄度を高精度に制御することにも対応しております。
施工例
以下のような性能仕様に対応可能です。
製鉄所内操作室 ±0.02
設定温度範囲 21〜25度
温度分布精度 ±0.1度
設定湿度精度 ±0.5%RH
清浄度 Class1(JIS)
ケミカル 外気濃度1/10
安全対策 酸素濃度計
煙感知機
火災警報
自動消火器
各種表示灯
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