株式会社オータマは1964年の創業より、パーマロイによる磁気シールド専門メーカーとしてご愛顧いただいております。

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特長

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パネル式磁気シールドルームの特長
某研究施設 電子ビーム描画装置用 プレハブのようなイメージでパネル同士を組み合わせ、それ自体が一つの部屋として自立する磁気シールドルームであり、既設工場内に新たにシールドルームを建設する場合に多く用いられる方法です。施工現場での作業が短期間で終了でき、発塵などを伴う加工が殆どないという利点があります。
構造図
1層シールド構造図
1層シールド構造
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2層シールド構造図
2層シールド構造
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3層シールド構造図
3層シールド構造
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4層シールド構造図
4層シールド構造
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施工例
半導体製造装置の性能は日進月歩であり、電子ビームで描画する線幅が細くなればなるほど微小な磁界変動にも影響を受けてしまいます。写真の例はクリーン度1の環境において、半導体製造装置を外部磁界から守るためにシールド材料の三層構造からなる磁気シールドルームを施工したものです。
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