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株式会社オータマは1964年の創業より、パーマロイによる磁気シールド専門メーカーとしてご愛顧いただいております。

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障害の例

下図に示すように、ここではブラウン管方式のテレビ・コンピューター画面(CRT)の磁気障害を例にしています。大きく分けて障害には以下の2種類あり、障害を与えている磁界ノイズが直流か交流かによって決まります。

色ずれ・色ずれ

色ずれは直流磁界の変動により画面が本来の色とは違う色調になってしまう現象です。また、色ずれのほかに直流磁界を受けると画像が歪んでしまうこともあります。

揺れ・揺れ

揺れは交流磁界を受けることで画像が上下あるいは左右に細かく震える現象です。


半導体製造装置および電子顕微鏡は電子ビームで画像(マスクパターンや表示画像)を得る装置であり、基本的にCRTと同じように磁界変動によって画像障害を受けます。しかし、CRTに比べて非常に繊細な装置であるため、わずかな磁気ノイズにも影響されることになります。

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磁界の影響を受ける例

よくある磁気対策の例として、鉄道の電力線により発生する磁界から装置を守る磁気シールドルームがあります。近くに鉄道が通っているとき、電力供給線から発生する磁界が大きく影響し、下表に示したような精密機器が磁界の影響を受けます。

影響を受ける機器
機器 機能・用途
CRT 電子ビームで画像を映し出し、テレビやその他のモニター類に使用されます。
電子線描画装置
(EB装置)
微細な電子ビームを操作し基盤に回路を描く装置です。コンピューターや電子機器に使われる集積回路(LSIなど)を作るための装置です。
電子顕微鏡 電子ビームを照射し、試料の組成や表面の状態を調べる装置です。
MRI 人の断面を映像化する医療用の診断機です。
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